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高级别电子无尘车间

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当今世界,微电子和光电子产业已成为一个国家、一个地区国民经济?#28034;?#23398;技术发展的基础和平台,也是衡量一个国?#28082;?#22320;区经济发展?#28034;?#23398;技术水平的重要标志。

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高级别洁净室是指洁净室的洁净度高(ISO-2、3、4、5级),生产环境温湿度的精度高,其他一些环境参数,例如:静压差、静电、微振、电磁、噪声、照度等参数都必须按生产工艺的要求进行严格控制的洁净室。这类面积大、环境参数要求高的洁净室广泛地应用在电子工业厂房中。

以超大规模集成电路为代表的微电子产业,在十年中全世界年平均增长率高达15%。2010年全世界微电子产品的销售额高达6 0008 000亿美元。我国成为全球第二大半导体市场。而光电子是继微电子技术之后十年内迅速崛起的新兴高科技产业,它是集固体物理、导波光学、材料力学、微细加工和微电子技术为一体,是微电子技术和光电子技术的结合和扩展对生产环?#36710;?#21442;数,原材料的纯度以及生产设备?#22270;?#26415;都等同甚至超过大规模集成电路的生产要求。2010年以光电子产业为代表的信息产品的总产?#20302;?#30772;50 000亿美元。

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    我国在微电子产业方面,“八·五”、“九·五”“十五”期间发展很快,超大规模集成电路生产线相继建成投产。在光电子产业方面已成为我国光电子产业的新的增长点。百级以上高级别洁净室在我国电子工厂中的应用已经成长为科技创新和经济转型的时代要求,要把其上升到民族工业振兴和民族复兴的政治高度来认识。

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