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无尘室的分类

来源:无锡一净净化设备有限公司作者:无锡一净网址:http://www.lsquw.club/浏览数:468 

1. 乱流式:空气由空调机箱经风管和洁净室内的空气过滤器进入洁净室,并由洁净室内的回风柱或高架地板回风。气流是呈不规则的乱流或涡流状态。此型式适合于洁净室等级为:1000-100000


2.层流式:空气气流运动成一均匀的直线形,空气由覆盖率的过滤器进入室内,并由高架地板或两侧回风柱回风,此型式适合于级别比较高的洁净室

3.复合式:复合式为将乱流式?#23433;?#27969;式予以复合或并用,?#21830;?#20379;局部超洁净之空气。洁净隧道以HEPAULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及?#20998;剩?/span>ULSI制程大都采用此?#20013;?#24335;


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关键词:净化工程,无尘室,洁净室


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